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Siエッチング液

・Siエッチングに用いる高純度アルカリです。任意の濃度に希釈してご使用下さい。
・NaOH-CXには添加剤を含有しており、安価にウエハへの金属吸着を抑制できます。
・超高純度品は、ウエハへの金属吸着をさらに低減できます。
 
 

製品一覧

 

製品名  組成  特徴 
 48%-水酸化カリウム水溶液  48% KOH 電子工業用
KOHLM   48% KOH 超高純度 
  48%-水酸化ナトリウム水溶液  48% NaOH 電子工業用
NaOH-CX  48% NaOH + 添加剤 電子工業用
NaOHLM   48% NaOH 超高純度 
TMAH-22  22% TMAH 超高純度 
TMAH-25  25% TMAH  超高純度 

TMAH:水酸化テトラメチルアンモニウム 

 

  



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